BALLUFF壓力傳感器以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術(shù)的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
巴魯夫感應式傳感器借助振蕩器形成了一個高頻場;線圈在傳感器*輻射該場,從而形成傳感場。當金屬物體進入傳感場時,渦電流就被引入其內(nèi),從而降低振蕩器發(fā)出的能量。當能量降至足夠低時,振蕩器將停振。觸發(fā)電路在感應到振蕩停振時,將改變輸出端開關(guān)裝置的狀態(tài)。